报告时间：2023年5月18日上午8:30-10:30

报告地点：电气馆 A101

报告题目：光栅干涉测量技术与应用

报告人：刘红忠

报告摘要：

团队历经20余年，在精密光栅测量方法、光栅制造技术及应用方面做了一些创新性工作。针对相关技术体系建设，形成了结构场协同约束的多材料界面调控理论，完成了多材料体系光栅结构设计与工艺体系，实现了功能纳米材料修饰的精密光栅制造能力。面向空间结构光调控光栅读数新原理，拓展了衍射光干涉成像极限，解决了精密光栅大间隙、高精度位移解析技术难题。系列光栅产品在国家平面角度基准装置、高档数控机床、航空航天惯导测试装置、国产光刻机精密定位等国家重大工程中取得应用，实现了国内关键领域、核心装备的国产化配套。本报告将主要阐述精密光栅制造与测量方法及应用案例。

报告人简介：

刘红忠，教授，西安交通大学领军学者，国家杰出青年科学基金获得者。 现任国家高端制造装备协同创新中心副主任。主持完成国家自然科学基金杰出青年基金、重点基金、国家科技重大专项、重点研发计划等30余项，入选国家级人才计划，主持完成科技成果获得省部级一等奖2项。